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功率器件MEMS光刻

投影式曝光机


泛半导体光刻(曝光)设备高端制造商

有效曝光面积是370X470mm,采用高功率UV LED作为光源,独立自主设计了特殊光路系统,带有能量监控,恒流驱动。寿命长、节能。可用于黑白屏、触控电路、CD纹、FPC等。(寿命长达20000小时)



型号

JZFUV-370470

外形尺寸(mm)

1601.2X940X2224.2

光照度(mw/cm2)

20

半角度

平行半角≤1.5°,倾斜角≤1.5°

均匀性

大于92%小/大%

LED寿命

20000小时

解析度

10um

控制方式

手动、PLC信号对接

驱动有监控系统

驱动含有监控,灯珠异常会报警

温度监控系统

含有温度监控,温度过高报警

光强监控系统

含有光强监控,时间模式:功率低报警;功率模式,达到累积值

冷却方式

水冷(含水冷机)

电源电压

AC220V,50HZ最大功率1300W,待机功率200W

环境温度

0-40摄氏度

环境湿度

20%-80%

抽风系统

上面两个可以调节大小的抽风口,Φ200,约3立方米/分钟,无需压缩空气

外壳

铝型材+不锈钢

按装、调试

我司负责信号连接、光学件安装调试

质保

整体质保一年,长期有偿服务

汞灯与UVLED曝光光源费用及优缺点对比

 

比较项目

5kw汞灯

JZF-UVLED曝光光源

备注

总功率

15KW(汞灯5KW+散热系统至少10KW

整机3KW

 

整机运行1.3KW,即开即停,出光时才耗电,不出光时耗电0.2KW

LED出光6s/玻璃*1800片=3小时

一月电费

15*20*30*1元/度=9000元

(3*1.3+17*0.2)*30*1元/度=219

每天20小时工作制

一年电费

12*0.9万元=10.8万元

12*219元=2628≈0.3万

 

耗材成本

汞灯4*5000元/支=2万元

 

更换耗时

停机更换汞灯

 

年使用成本

12.8万元

0.3万元

每年节省约12.5万元

菲林温升

菲林温升高,降低使用次数

菲林温升低,使用寿命长

波长

波长连续

区间波长

预热

至少需要3分钟预热

无需预热,即开即用

汞污染

内部含汞元素,后续处理污染

无汞,无后续处理

产生臭氧

产生臭氧,污染空气

无臭氧产生

做出产品实际效果图如下:

曝光尺寸(mm)
250*350
370*470
14″×16
450*550
550*650
700*800
920*730




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