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UV LED光刻机

JZMA-10000平行曝光机


JZMA-10000平行光曝光机

JZMA-10000平行光曝光机独立的多个UV-LED光源系统矩阵排列组成;主要用于FPD行业、高端PCB以及其它新型电子元器件的生产制造工艺中的一次或多次曝光。




2.3 安装环境

2.3.1 室温:       20℃±2℃;

2.3.2 室内光线:   红光或黄光;

2.3.3 相对湿度:   40%~60%;

2.3.4 净化等级:   优于1000级;

2.3.5 必须无影响机器正常工作的振动或振动源,无腐蚀性气体,无强磁辐射。

2.4 使用条件

2.4.1 外接电源:       AC220V±22 V / 50Hz;

2.4.2 电气总功率:     根据面积计算,比汞灯低;         

2.4.3 压缩空气或氮气: 0.50.6MPa;

2.4.4 真空:           -0.08~-0.10MPa。

2.5 安全性检查

2.5.1 电气箱通风散热良好,电气元器件布局合理,设计可靠;

2.5.2 整机绝缘电阻 ≥2MΩ(1000V兆欧表检测);

2.5.3 机壳必须有良好的接地。


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